“说的是生产光刻机的一种技术工艺，目前我们大部分普遍用的是干式光刻机生产工艺。也就是用空气做为镜头与晶圆间的介质，让光罩上的图形在晶圆上成象。不过，这个林本艰觉得，还可以用一种湿式工艺。”

        “什么是湿式？”

        “他说的这个湿式名字叫做浸润式，与湿式差不多。但用的介质却不一样，我们一般现在用的是空气，而林本艰提成了用水做为浸润式的介质。”

        “水？”

        听到水这个词，陈宇陈宇有些激动。

        记得前世，其实在开始之初，荷兰aslm与德国，与日本几大光刻机公司实力都差不多。

        为什么后来aslm却是一统天下，完全与这一些光刻机公司选择的路线有关。

        当时日本，德国，包括美国这一些光刻机公司路线选择出错。

        而aslm却是花重金开辟了另一条光刻机生产工艺。

        这个工艺，就涉及到水，也就是林本艰现在提到的浸润式。

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